Программное обеспечение COMSOL Plasma Module предназначено для решения всех типов неядерных низкотемпературных плазменных реакторов. Модуль дает возможность решать задачи из следующих областей: индуктивно-связанная плазма (ICP), емкостно-связанная плазма (CCP), микроволновая плазма и электрические разряды (DC Discharges). COMSOL Plasma Module позволяет включать в модель детальную схему электрической цепи посредством редактора в модулях AC/DC и RF. Процесс моделирования упрощен предопределенными приложениями, в которых автоматически запускаются сложные связи между различными физическими явлениями.

Область применения COMSOL Plasma Module:

• Освещение.
  
• Производство полупроводников.
  
• Стерилизация и фильтрация в медицине.
  
• Генерирование реакционных газов.
  
• Разгонные устройства.
  
• Плазменные фонари.